所属部门：智能传感与新材料工程中心
所学专业：凝聚态物理
电子邮件：feng.luo@nankai.edu.cn
研究方向：未来芯片材料与器件表征技术、MEMS设计、器件可靠性、晶圆级器件加工与电路系统集成
个人简介
教育经历
1999.09-2004.06,北京大学化学与分子工程学院,材料化学博士/导师严纯华院士
1995.09-1999.06,北京大学化学与分子工程学院,物理化学本科/导师刘忠范院士
工作经历
2021.01-现在,南开大学材料科学与工程学院讲席教授
2018.01-2020.12,西安交通大学机械工程学院校聘讲座教授
2016.07-2020.12,西班牙马德里高研院纳米科学与技术研究所,教授（Tenured）
2010.12-2016.06,西班牙马德里高研院纳米科学与技术研究所,研究教授（Tenured）
2009.11-2010.11,北大学工学院材料科学与工程系,特聘研究员PI
2006.10-2009.11,瑞士保罗谢尔研究所微纳技术实验室,博士后,导师ETHZ教授Laura Heyderman
2004.10-2006.10,德国马克思－普朗克微结构与物理研究所,博士后,导师 J.Kirschner
研究方向包括未来芯片材料与器件表征技术（晶圆级存储薄膜材料创制与阵列式高密度器件先进表征技术；X射线表征与检测分析技术在IC中的应用：EUV光刻胶反应机制与性能评估；掩模缺陷检测；器件无损分析）；MEMS设计、器件可靠性、晶圆级器件加工与电路系统集成。
科研项目、成果、专利
科研项目
1.科技部重点研发专项面向Sub-7nm 先进工艺节点集成电路核心器件的同步辐射表征技术及应用，2022-2026，520万/1850万，课题负责人。
2.科技部重点研发专项生物纳米孔基因测序仪，2022-2024，200万/4000万（2000万公司匹配），课题参与。
3.基金委重大项目非常规激发染料的构效调控及产品工程科学基础，2021-2024，100万，EUV光刻胶课题参与。
4.横向课题，2023-2023，220万，课题负责人。
专利
已授权发明/实用新型专利：
01）2020113484323：一种可用于选区原子层沉积的微纳加工方法
02）2021102715297：一种适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法
03）2022114741174：集成电路制程中晶圆处理的超临界干燥清洗设备及方法
04）2024100044817：一种HZO铁电材料的制备方法
05）2023214657526：一种基于石墨烯电极的电光调制器（实用新型）
06）2023115445651：一种使用分子层沉积制备晶圆级铝基-丁烯二醇干式光刻胶的方法
已受理发明专利：
01）2023101715941：一种直传模式数字隔离器及接收机
02）2023101806404：一种降压稳压电路、稳压器、电源管理器及嵌入式系统
03）2023110364446：一种带隙基准电流源、低压差线性稳压器及电源管理器
04）2023112053437：一种基于CVD 的新型低功耗MnTe/Cr1-xTe异质结的制备方法
05）2022104963934：一种基于CVD和ALD配合使用制备磁性隧道结器件的方法和应用
06）2023114822852：一种基于溶液辅助旋涂法的超薄原子级平整Ga2O3薄膜的制备方法
07）2023114824152：一种原位制备Cr1-xTe晶态-非晶异质结的方法
08）2025101889463：一种多层 EUV 光刻胶的制备方法
09）2025102607549：一种基于分子层沉积技术制备晶圆级纳米压印光刻胶的方法
10）2024109410556：一种使用分子层沉积制备晶圆级干式光刻胶的方法
12）202410339198X ：一种用于基因测序双层孔结构纳米压印模板制造及压印方法
13）2022114464256：一种原子层、分子层沉积设备及沉积方法
14）2022116562145 ：一种晶圆表面量测设备、检测方法及应用
15）2024109265213：一种高亮度X射线源阳极靶
16）2024103600862：一种背反式单色化X射线源装置及其使用方法
17）2024102527802：一种面扫型瞬态光电检测系统
18）2024102527817：一种循环测试控制装置
19）202210791870X：定向中子探测器、探测方法
20）2022112534377：平面内中子放射源精确定位方法、定位装置
21）2022112537464：基于空地协同的中子源探测定位方法、定位装置
22）2022112534235：面排列式阵列中子探测定位装置、定位方法
23）2022112534112：中子放射源快速定位装置、定位方法
24）2022112534127：线排列式阵列中子探测定位装置、定位方法
25）2023112416483：线形高通量电子/离子能谱表面分析,量测仪器和方法
26）2025101426527：一种用于缓解泊松效应的芯片封装结构及其加工方法
27）2023115702523：一种在亚铁磁合金中获得手性耦合的方法
28）2025104437792：一种钕铁硼永磁材料电镀工艺
29）2025104437773：一种降低钕铁硼永磁材料氢含量的方法
30）2025103815394：一种易于晶界扩散的烧结钕铁硼磁体及其制备方法
31）2025103908350：一种高矫顽力高稳定性的含铈钕铁硼磁体及其制备方法
32）2025109852861：一种双激光驱动的超快X 射线瞬态吸收谱仪
撰写论文、专著、教材等
文章列表
1.https://orcid.org/0000-0003-3442-3987
2.https://webofscience.clarivate.cn/wos/author/record/E-3683-2012
荣誉奖项
社会兼职
担任深圳综合粒子研究院科创委委员，上海光源用户委员会委员(半导体与芯片检测领域)，中国感光学会光刻材料与技术专业委员会委员, 中国仪表功能材料学会电子元器件关键材料与技术专委会资深常务委员，中国化学学会电子信息化学品专委会委员，上海光源科学中心同步辐射应用技术部主任(负责上海光源同步辐射技术在半导体领域的应用规划与建设，包括极紫外光刻胶评估平台和EUV掩模缺陷检测平台升级建设，推动同步辐射技术在半导体后道封装以及器件缺陷与失效检测与工业界合作以及产业化), 2023-2025北方华创学术讲师(与北方华创在14nm以下集成电路关键装备方向展开深度合作)。
