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智能传感与新材料工程中心
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智能传感与新材料工程中心
罗锋
教授、研究员
未来芯片材料与器件表征技术、MEMS设计、器件可靠性、晶圆级器件加工与电路系统集成
林初晨
高级工程师，助理研究员
光电耦合氧化技术、节能减碳、清洁生产，大气污染监测，水资源监测
